سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار ۾ وڌندڙ سخت "صفر-خرابي" گهرجن جي پس منظر ۾، ليجي 9 انچ گهٽ-ڪلورين نائٽرائل دستانا ويفر پروسيسنگ ۽ چپ پيڪنگنگ مرحلن ۾ ناگزير حفاظتي سامان بڻجي ويا آهن ڇاڪاڻ ته انهن جي غير معمولي گهٽ آئنڪ ريزيڊيو ۽ اعلي صفائي جي ڪارڪردگي جي ڪري. خاص پروسيسنگ ذريعي، دستانو جي ڪلورين جي مواد کي سختي سان ≤50ppm تي ڪنٽرول ڪيو ويندو آهي - خاص طور تي 100ppm جي صنعت جي معيار کان وڌيڪ. اهو مؤثر طريقي سان ويفر جي سطحن تي ڪلورائڊ آئن جي منتقلي جي ڪري پيدا ٿيندڙ سنکنرن جي خطرن کي روڪي ٿو، مائڪروسڪوپڪ آلودگي ڪنٽرول لاءِ سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار جي سخت گهرجن کي پورو ڪري ٿو.
لٿوگرافي جي عملن دوران، دستانو جي صفائي سڌو سنئون فوٽو ريزسٽ ڪوٽنگ جي درستگي ۽ نمائش جي نتيجن تي اثر انداز ٿئي ٿي. ڪلاس 100,000 ڪلين رومز ۾ تيار ڪيل ۽ ليزر ڊسٽ هٽائڻ جي تابع، هي پراڊڪٽ 0.2 پارٽيڪلز/اسڪوائر انچ کان گهٽ سطحي پارٽيڪلز جي اخراج کي ظاهر ڪري ٿو - ISO ڪلاس 3 ڪلين روم جي معيارن کي پورو ڪري ٿو. اهو مؤثر طريقي سان ويفر سطحن تي مائڪرو پارٽيڪلز جي چپکڻ کي روڪي ٿو، ان ڪري ليٿوگرافي جي خرابين کي گهٽائي ٿو. 9 انچ ڊگھائي ڊيزائن کلائي کان هٿ جي کجيءَ تائين مڪمل ڪوريج فراهم ڪري ٿي. هڪ لچڪدار ڪف جي جوڙجڪ سان گڏ، اهو آپريشنل لچڪ کي يقيني بڻائي ٿو جڏهن ته مؤثر طريقي سان آستين جي افتتاح تي مٽي جي وهڪري کي روڪي ٿو، ليٿوگرافي جي عملن ۾ متحرڪ صاف ماحول لاءِ سخت گهرجن کي پورو ڪري ٿو.
ايچنگ ۽ آئن امپلانٽيشن جهڙن انتهائي خراب ڪندڙ ري ايجنٽس جي عملن دوران، اهي دستانا غير معمولي ڪيميائي مزاحمت جو مظاهرو ڪن ٿا. عام سيمي ڪنڊڪٽر ري ايجنٽس جهڙوڪ هائيڊروفلورڪ ايسڊ ۽ فاسفورڪ ايسڊ ۾ 24 ڪلاڪن جي وسرجن ٽيسٽنگ کان پوءِ، اهي ڪو به سوجن يا ڦاٽڻ نه ٿا ڏيکارين، وزن جي تبديلي جي شرح 0.8 سيڪڙو کان گهٽ آهي. هي آپريٽرز لاءِ قابل اعتماد هٿ تحفظ فراهم ڪري ٿو جڏهن ته دستانن جي نقصان کان ري ايجنٽ آلودگي جي خطرن کي ختم ڪري ٿو. آڱرين جي پورن ۾ 0.02 ملي ميٽر ليزر اينگريڊ اينٽي سلپ ٽيڪسچر آهن، 12 انچ ويفرز کي هٿ ڪرڻ وقت رگڙ 35 سيڪڙو وڌائي ٿي ۽ ويفر سلپج جو خطرو 60 سيڪڙو گهٽائي ٿي. هي حفاظتي حفاظت ۽ آپريشنل استحڪام جي وچ ۾ توازن حاصل ڪري ٿو.
في الحال SEMI F57 معيارن جي تصديق ٿيل، اهي دستانا SMIC ۽ Hua Hong Semiconductor سميت معروف فاؤنڊيريز ۾ وڏي پيماني تي پيداوار واري لائنن ۾ استعمال ڪيا ويا آهن. اهي هٿ جي رابطي جي ڪري ويفر اسڪريپ جي شرح کي 38٪ گهٽائي ڇڏيندا آهن، پاڻ کي سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار ۾ مثالي انتخاب طور قائم ڪندا آهن ته جيئن آپريشنل ڪارڪردگي سان ڪلين روم جي حفاظت کي متوازن ڪري سگهجي.
پوسٽ جو وقت: نومبر-11-2025